From cradle to grave空調箱濾網節能減廢之路


隨著半導體製程往先進發展，線寬不斷縮小，除了粉塵（Particle）所導致的微污染外，各類有機及無機性微污染對半導體良率的影響越趨於顯著，也因此對於化學濾網需求亦日趨增加。此外全球經濟發展過程中所衍生的環境汙染問題日漸嚴重，第一線面對外氣汙染的半導體無塵室外氣空調箱(MAU)負荷也亦趨嚴苛，使用之筒型濾網(C-Type Chemical Filter)大多為單次使用的耗材，初始壓損約120Pa~200Pa，即使用上產生大量事業廢棄物外，愈高的壓損也帶來愈高的耗能，這無疑是對環境造成莫大的負擔。為此本案研擬優化C-Type濾網的壓損(改善幅度≧37.5%)，並對其填充之濾料執行再生技術之開發(Capacity≧85% @ 新品/前一次再生)，使其達到低壓損並可多次重複使用(Regen≧3次)，減少35%能源消耗與85%廢棄物產生，後續配合專利資源化處理製程，可再次將其廢棄物有效利用，達到100%回用，零固體廢棄物之成果。