半導體製造業之淨零挑戰-專注於廠務設施與製程設備


我國進口能源佔比97%，節約能源為國家永續發展之必要措施，過去十年(2011-2020)我國用能年均成長僅0.17%，唯隨經濟成長、產業結構改變以及電氣化發展，電力消費成長率達1.34%，提升用電效率為我國重點工作，而電子業GDP持續成長，接連帶動用電量成長，過去十年電子業年均用電成長4.4%，遠高於工業部門平均成長率。工業部門用電以製程用電為主，其次為空調、空壓機等廠務設備。以某晶圓製造廠為例，溫室氣體排放分布，範疇一製程排放占比約14%、範疇二能源使用排放占比62%、範疇三原料使用為24%，可以看出持續節能、提升再生能源使用率是減碳關鍵。因此本講題將以高科技廠作為研究對象，收集各項廠務系統及製程設備相關運轉參數，應用能源轉換係數(Energy Conversion Factors, ECF)計算器及廠房耗能分析軟體(Fab Energy Simulation, FES)計算出廠房運轉能耗資料。再透過行政院環保署所提供之碳係數資料轉換成二氧化碳排放量，幫助高科技廠計算(1)廠房年總耗電量及碳排放量(2)各製程設備之耗電量及碳排放量(3)依據耗電量及碳排量分布評估節能減碳效益，期許能幫助企業制定適宜之減碳策略，加快實現淨零之目標。