科技廠先進減震技術之開發與應用


2016 年 0206 地震對南部科學工業園區造成很大震害損失，更勝於 1999 年 921 地震對竹科的衝擊

震害損失來源主要為:
(1) 自動化倉儲系統 (Stocker) 上的 Foup 或 Cassette 滑落
(2) 貨架 / 推車翻覆或物品滑落
(3) 天花板 / 庫板崩落
(4) 垂直爐管 (VF) 晶圓疊片或滑落、晶舟與石英管碰撞

交大團隊針對前述震損來源探討其損傷模式並發展相應之減震技術，經振動台地震模擬試驗確認其成效，已獲科技廠採用，積極推廣中。